薄膜厚度测量仪 AF系列

薄膜厚度测量仪 AF系列

膜厚/周期性3D结构测量

薄膜厚度测量仪 AF系列

膜厚/周期性3D结构测量

薄膜厚度测量仪 AF系列

超高精度/多层测量/场景丰富

高精度膜厚 Mapping模式

偏差精准校正，实现超高分辨率；毫秒级别采样频率，比传统膜厚仪提升2~3倍更合适在线使用！支持Mapping模式，自动快速测量，单点时间＜0.5s，兼容2-12寸晶圆片。

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产品特性

应用示例

薄膜厚度测量

二氧化硅膜厚

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薄膜厚度测量仪AF系列

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