柱面镜阵列
采用 50X 弥耳干涉物镜和垂直干涉扫描法（VSI）
微透镜复眼测量
采用 100X 弥耳干涉物镜和垂直干涉扫描法（VSI）
超光滑镜面拼接粗糙度测量
测量使用 20X 弥耳干涉物镜和垂直扫描干涉（VSI）
镜片模具测量
采用 20x 迈克尔逊干涉物镜和垂直扫面干涉法（VSI）
0.05nm 镜片粗糙度
