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科普丨白光干涉仪如何选择镜头

动态 2022-05-06 14:12:41

镜头怎么选,越多越好,越高越好?小孩才做选择题,大人都要。

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本期小优博士来教您如何选择镜头,需考虑三大要素。

 


① 视野范围 (单镜头可观察到得XY范围)

倍率越大,视野越小

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② XY分辨率( 平面可分辨的最小细节)

倍率越大,分辨率越好

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③ 角度特性 (倾斜面可成像的角度)

倍率越大,角度特性越大

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~这里没有提到倍率对Z向精度的影响?

对的,没有影响!白光干涉原理下,不同倍率镜头的Z向理论精度是一样的。

为此,小优博士使用优可测白光干涉仪ER230实验。

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实验结果: 几乎没有影响。若只测量产品粗糙度或者大面积台阶高度,那镜头的选择无特别要求,低倍率即可。


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选用镜头后,如上3点还是无法满足需求的话,那就得从其他内容入手了。

看看优可测白光干涉仪如何解决此类问题。

视野不足?

→平台拼接扩展视野:最大300X300mm自动拼接平台。

XY精度不足?

→提高相机分辨率:白光业内最高的500万黑白相机。

 

角度特性不足?

→选用高NA值的镜头,提高反光的进光量

特制光路,可搭配数值孔径NA=0.8 115倍干涉镜头

→提高相机感光度,识别微弱反光的变化

采用高感光度黑白相机

→对光的解析提高

    独创弱光提取算法,将微弱的光也纳入点云计算。

 

剖面角度最高可达90°


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这期小优博士就介绍到这,选择白光干涉仪镜头你学会了么?


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