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通过白光干涉原理实现高精度测量
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ISO 25178 标准-表面纹理表征
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白光干涉仪测量高度信息的原理?
动态
2022-07-20 14:20:44
两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源能产生光的干涉,如下图
点A和点B的干涉条纹亮度峰值之间的差即为高度差,如下图所示