方法1 ：通过PSI 相移干涉  获得高度差

相移干涉法使用特定波长范围内的光源来确认目标面反射光和参考面反射光之间的光干涉。

目标面的反射光和参考面的反射光之间的相位为Ø，距离参考面的高度为h，则Ø=4h/λ。

借助相位测量法，可使用雅典扫描器等传动器移动测量面的光路，计算以1/4波长移动光路时获得的多个干涉条纹的相位差（Ø），然后将其转换为高度h。如下图：

方法2：通过VSI垂直扫描干涉 获得高度差

物镜以一定的间隔移动，以便确定每一阶的干涉条纹的亮度。当测量面的光路和参考面的光路长度相等时，干涉条纹的亮度达到最高。通过确定CCD光接收元件中每点最大干涉条纹亮度的Z轴高度可测出3D轮廓即高度差。