随着目前新材料技术发展，接触式台阶仪测量已经无法满足部分行业的测量应用

如传统台阶仪无法满足一些纳米级、亚纳米级高精度的测量需求；

如材料测量要求不被接触和损坏，以保护样品的完整性；

如传统台阶仪测量效率一些对速度较快的新场景；

在台阶高度测量仪器当中，白光干涉仪近年来越来越备受关注。白光干涉仪测量台阶仪高度有以下优势：

①精度高

白光干涉仪精度可达亚纳米级别，这是一个非常高的精度，在诸如测膜厚台阶中对精度的需求非常高

图1， “镀膜台阶测量”

（由 优可测NA-500，50X 拍摄） 

②多线测量  工具丰富

快速选取比探针式台阶仪更多的截面，保证测量稳定性；

我们知道传统探针式台阶仪的测量，只能线性的选择测量物体表面，而白光干涉仪有多线测量的能力，可以短时间内测量更大的截面。

功能丰富，自动测量最高最低点、平均值，统计分析。

图2 ， “晶圆切割台阶深度”

(由 优可测EX-230，20X 拍摄）

③可测高透明产品

低至0.02%反射率的表面也可以轻松采集点云成像，如光刻胶、增透膜，本身具有高反射、高折射、高透明的特性，白光干涉仪也可以测量。

图3，“超光滑玻璃镜面”

（由 优可测EX-230 ，20X 拍摄）

④非接触式测量

非接触式不会刮伤表面，软质、尖锐产品也可测。传统探针台阶仪需要接触物体表面，在测量一些敏感材料、软质材料时，可能会刮伤样品表面，增加样品损坏度，白光干涉仪采用非接触式测量将避免此类情况，适用于更多形态的材料。

图4，“软质材料凝固实验”

（由 优可测ER-230 ，20X 拍摄）

⑤广视野  速度快

倍率精度相同，可获得大视野；

以面的形式扫描；

一般在数秒钟内即可完成测量；

优可测白光干涉仪甚至可达400μm/s 扫描速度。