白光干涉仪主要用来三维微观表面的测量，以优可测白光干涉仪为例，提供了表面粗糙度测量、台阶测、微观形貌测量、三维形貌比对、高度测量、平面尺寸测量等测量功能。

广泛用于半导体制造及封装工艺检测、光学镜片及其加工质检、新型材料制造及超精密加工、3C电子玻璃屏及其精密配件、汽车零部件、医疗植入器械检测、航空航天、国防军工、高校及科研院所等领域中。

在超光滑、粗糙、低反射率和高反射率的物体表面测量；

在新型膜类材料非接触式快速测量厚度、高度，但不损害材料；

在到芯片制造工艺中测量比对微纳米三维全形貌；

在纳米级别工件中测量粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率；

白光干涉仪都可以涉及其中。