1.什么是粗糙度

表面粗糙度(surfaceroughness)指表面具有较小间距和微小峰谷的不平度，表面粗糙度越小，则表面越光滑。

2.为什么要测量粗糙度

1）：外观要求

2）：性能要求：

① 振动和噪声

② 附着力

③ 透光性

3）：可靠性

① 寿命

② 耐磨性

③ 疲劳强度

④ 接触刚度

4）：工艺评估

5）：仿生&逆向工程

3.白光干涉仪在表面粗糙度测量方面的优势

①采用非接触式测量，对材质兼容性强，可探测细微凹凸变化，可生成三维图像，结果处理多样化，用于亚纳米到微米的粗糙度测量。

②速度快，优可测白光干涉仪甚至可达400μm/s 扫描速度，一般在数秒钟内即可完成测量；不同倍率的Z向精度相同，相对能获得更大测量视野；

③可用于0.01~100nm粗糙度测量；