目前市面主流的三种3D显微镜“景深叠加”-“激光共聚焦”-“白光干涉”， 都可以测量三维形貌，确定应用需求后，寻找适合的设备是不少科研人员的重要工作，了解设备原理和优劣势才能结合自身的应用场景选择最适合自己项目的设备，我们以三张动图直观了解三种显微镜的测量原理（从左到右“景深叠加”-“激光共聚焦”-“白光干涉”）

3张动态直观表述了三种不同原理的区别，景深叠加是马达带动相机采集图片，图片清晰位置对应的Z轴高度重构三维图像；激光共聚焦相比于多焦面叠加，是进行单点的焦平面叠加，只叠加清晰点.提高了画面清晰度和细节分辨能力；白光干涉是内置光路分光两束，反射回来后产生干涉条纹。通过压电陶瓷移动产生大量干涉条纹后计算,重构后产生三维图像。

除原理之外，3种三维显微镜在测量三维形貌的其他方面也有区别，景深叠加的精度在500~1000nm，毫无精度可言，只是产品表面光学500倍以内的放大清晰观察，初步观察三维形貌；激光共聚焦精度在5-10nm，可做到表面精细观察和表面轮廓分析测量；白光干涉精度在0.01-1nm，不但可做到表面精细观察和表面轮廓分析，还能测量高精度的高度信息；