国产白光干涉仪的测量精度体现在3点：

① RMS重复性：

普通实验室环境下，依据 ISO 25178 国际标准测量30次 SiC硅晶片 Sq 参数获得

② 台阶高度重复性：

普通实验室环境下，使用12μm马尔标准块 测量30次数据， 取1σ的最大偏差及其比

③ 台阶高度准度：

普通实验室环境下，使用12μm马尔标准块 测量30次数据，取1σ的平均值与实际值的偏差及其比例

目前国产品牌“优可测“系列的三个参数，均已经达到国际一流水平。可轻松应对不同行业的超高精度要求。

RMS可达0.002~0.005nm

台阶重复性 0.008%~0.025%

台阶准度0.025%~0.08%