3D光学轮廓测量仪的主流分类及简单对比
按原理分类,
结构光、线激光、景深叠加、共聚焦 、白光干涉
原理特点:
结构光:一般为面结构光,大视 野,微米级别精度,节拍 慢
线激光:大小视野均有,微米级 别精度,节拍快,适用 于在线检测
景深叠加:小视野、微米级别精度
共聚焦:小视野,十纳米以上级别精度,速度较慢。
白光干涉:小视野,面成像, 纳米级别精度, 速度较快