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3D光学轮廓测量仪的主流分类及简单对比

动态 2022-07-21 13:53:22

按原理分类,

结构光、线激光、景深叠加、共聚焦 、白光干涉

 

原理特点:

结构光:一般为面结构光,大视 野,微米级别精度,节拍 慢

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线激光:大小视野均有,微米级 别精度,节拍快,适用 于在线检测

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景深叠加:小视野、微米级别精度

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共聚焦:小视野,十纳米以上级别精度,速度较慢。

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白光干涉:小视野,面成像, 纳米级别精度, 速度较快

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