共聚焦有更好的XY分辨率，图像清晰，但是Z向精度是十纳米以上。

白光干涉仪XY分辨率不如共聚焦显微镜，但是Z向精度纳米和亚纳米级别。

此外，白光的扫描速度是共聚焦速度的10倍以上。

所以在Z向精度和速度上，都可以完美替代和超越共聚焦显微镜的功能。

例如半导体、镜片、医疗、精密电子、刀具、镜面产品加工等等，白光干涉仪仪均有很好的应用替代性。