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白光干涉仪适用于哪些行业领域?

白光干涉仪主要用来三维微观表面的测量,以优可测白光干涉仪为例,提供了表面粗糙度测量、台阶测、微观形貌测量、三维形貌比对、高度测量、平面尺寸测量等测量功能。广泛用于半导体制造及封装工艺检测、光学镜片及其···

2022-07-20

白光干涉仪如何适应台阶高度测量的新需求

随着目前新材料技术发展,接触式台阶仪测量已经无法满足部分行业的测量应用如传统台阶仪无法满足一些纳米级、亚纳米级高精度的测量需求;如材料测量要求不被接触和损坏,以保护样品的完整性;如传统台阶仪测量效率一···

2022-07-20

浅说台阶仪是如何测量台阶高度

1、我们先来看看传统台阶仪的测量原理探针直接接触表面记录轮廓变化,可获得二维轮廓变化和计算线粗糙度。接触-运动:当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。···

2022-07-20

白光干涉法如何精准获取台阶高度信息?

方法1 :通过PSI 相移干涉 获得高度差相移干涉法使用特定波长范围内的光源来确认目标面反射光和参考面反射光之间的光干涉。目标面的反射光和参考面的反射光之间的相位为Ø,距离参考面的高度为h,则Ø=4h···

2022-07-20

白光干涉仪测量高度信息的原理?

两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源能产生光的干涉,如下图点A和点B的干涉条纹亮度峰值之间的差即为高度差,如下图所示

2022-07-20

白光干涉仪的测量原理介绍

内置光路分光两束,通过分束器,将光一束打到物体表面,一束打到参考镜反射回来后产生干涉,通过压电陶瓷移动产生大量干涉条纹,重构后产生三维图像。 白光干涉仪测量工作步骤①光路分光:上面有一束相干光打下来,···

2022-07-20

科普丨白光干涉仪如何选择镜头

镜头怎么选,越多越好,越高越好?小孩才做选择题,大人都要。====本期小优博士来教您如何选择镜头,需考虑三大要素。①视野范围 (单镜头可观察到得XY范围)倍率越大,视野越小②XY分辨率( 平面可分辨的···

2022-05-06

科普丨如何验证白光干涉仪精度,用性能说话的国产白光干涉仪

粗糙度、台阶高度是白光干涉仪最擅长的测量工作。小优博士也重点说明过在此类测量应用的优势。白光干涉的超高精度,会让很多评估者无从下手。怎么验证一台白光干涉仪的高度测量能力?小优博士给您支招。非常简单!只···

2022-04-13

科普丨白光干涉仪测量台阶高度的优势

上两期介绍了粗糙度的概念、设备,也着重说明了白光干涉原理在粗糙度的应用优势,传送门↓↓《如何选择粗糙度测量设备丨科普篇》而目前半导体、3C制造、材料、精密加工等领域,除了粗糙度,还会涉及到台阶高度测量···

2022-03-25

科普丨选择测量粗糙度仪器要注意什么

上期小优博士科普了粗糙度几个知识点,传送门↓↓《 你不知道的冷知识,新冠试管也要检测粗糙度》那如何选择粗糙度测量设备?今天小优博士和大家一起来探讨。在选择粗糙度仪前,务必关注几点:I 粗糙度等级II ···

2022-03-25

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