在精密光学领域，一般把Ra值＜0.3nm的元件称为超光滑（超滑）元件。其极低的粗糙度和无损的高质量表面，在光学系统中可以有效的减少光的散射，在例如激光陀螺仪、高功率激光、超精密光学等领域，有广泛的应用。
随着一些行业对超光滑元件的使用越来越多，推进了表面加工技术快速发展的同时，也对其亚纳米级的粗糙度检测提出了更迫切的需求。
近来优可测白光干涉仪AM系列已为多家超光滑企业提供无接触、无损伤的粗糙度测量方案。在此分享给大家，一起来看看超光滑元件究竟有多光滑。
样品一
粗糙度Sa=0.137nm（由AM系列NA-500拍摄）
样品二
粗糙度Sa=0.082nm（由AM系列NA-500拍摄）
优可测白光干涉仪AM系列NA-500可以观察到如此细腻的微观世界，主要得益于以下几点：
1.使用高精度压电陶瓷，通过精确控制电压信号产生微量位移；
2.500万像素的高感光度传感器及“弱光提取算法”，精确采集点云数据；
3.软件独特的“相位展开”图像采集功能，有效抑制系统噪声。
另外优可测Atometrics AM-7000系列白光干涉仪扫描速度最快可达400μm/s，如上结果仅用3-5秒钟即可获得！
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粗糙度
高度/高度差
三维形貌
三维尺寸
二维轮廓
二维尺寸
平面度
膜厚
角度
厚度
定位
摆动/震动
