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掩膜版图形高度快速自动化测量方案

2023年10月12日

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优可测白光干涉仪ER-230：快速自动化检测掩膜版图形高度

优可测白光干涉仪AM-7000系列精度达亚纳米级。
最高RMS重复性可达0.002nm，搭配大量程压电陶瓷器件，最高扫描速度400μm/秒。
3200Hz加以业内首创SST+GAT算法，可瞬间完成最高500万点云采集。
白光干涉仪基于白光干涉原理，通过光干涉相位计量，任意放大倍率下均可获得小于1nm的检测精度。
涵盖市场上通用的国际标准测量工具，高效率轻松分析3D数据，从容应对各行各业的应用。


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