薄膜厚度测量仪原理

① 不同波长的光波穿透被测膜层时，上下表面反射光相互之间的相位差增强或者减弱。

-相位差为波长整数倍时，产生建设性叠加，此时反射率最大；

-相位差为半波长时，出现破坏性叠加，反射率最低；

-整数倍与半波长之的叠加，反射率介于最大与最小反射之间；

② 通过解析干涉图形计算被测膜层厚度。