白光干涉 AM-5000系列

—————— 粗糙度 ○ 台阶 ○ 轮廓 ○ 三维测量 ○ 类SEM效果 ———————

应用

芯片高度测量

使用EX230, 20X测量镜头

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芯片尺寸测量

使用EX230,20X测量镜头

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心血管支架粗糙度测量

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铜箔粗糙度测量

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液晶膜类测量

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晶圆表面蚀刻测量

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0.05nm 镜片粗糙度

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柱面镜阵列

采用 50X 弥耳干涉物镜和垂直干涉扫描法(VSI)

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齿轮拼接测量粗糙度

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电容元器件表面测量

采用 50X 弥耳干涉物镜和垂直干涉扫描法(VSI)

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超光滑镜面拼接粗糙度测量

测量使用 20X 弥耳干涉物镜和垂直扫描干涉(VSI)

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镜片模具测量

采用 20x 迈克尔逊干涉物镜和垂直扫面干涉法(VSI)

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PCB尺寸测量

通过100X 弥耳干涉物镜和垂直扫描干涉法

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表面划痕深度检测

采用10X弥耳干涉物镜和垂直干涉扫描法

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微透镜复眼测量

采用 100X 弥耳干涉物镜和垂直干涉扫描法(VSI)

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