返回白光干涉 AM系列
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ER 230
技术参数
Z 轴扫描范围
5000 µm
最大扫描速度
400 µm/s
显示分辨率
0.001nm
重复性*
0.005nm
相机像素
1920 × 1200
扫描频率
169-3200Hz
系统构成
测量单元
ER230
控制器
AM-7000
底座
镜头
2.5X/5X/10X/20X/50X/100X/115X
分析软件
AM-M1
防震
可根据客户现场环境以及精度等级要求，提供主动式或被动式防振平台
产品手册
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* RMS重复性：实验室环境下，依据ISO-25178标准测量SiC硅晶片粗糙度参数获得
