返回白光干涉 AM系列

EX 230

技术参数
Z 轴扫描范围
400 µm
最大扫描速度
400 µm/s
显示分辨率
0.001nm
重复性*
0.003nm
相机像素
1920 × 1200
扫描频率
169-3200Hz

系统构成

测量单元

EX230

控制器

AM-7000

底座

镜头

2.5X/5X/10X/20X/50X/100X/115X

分析软件

AM-M1

防震

可根据客户现场环境以及精度等级要求,提供主动式或被动式防振平台

产品手册

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* RMS重复性:普通实验室环境下,依据 ISO 25178 国际标准在实验室环境下测量 SiC硅晶片 Sq 参数获得

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