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EX 230

技术参数
Z 轴扫描范围
400 µm
最大扫描速度
400 µm/s
显示分辨率
0.01 pm
重复性*
< 0.15 nm
测量点数
2456 x 2054
扫描速度
77 - 2000 Hz

系统构成

测量头

EX230

控制器

AM-5000

镜头

2.5X/5X/10X/20X/50X/100X

手动底座

AM-H1

电动底座

AM-D1

测量软件

AM-M1

支架

根据不同的客户需求,我们可以定制测量范围最大可达300*300mm的平台支架。

标准配置包含了110*110 mm和200*200mm的高精度平台支架。

防震

可根据客户现场环境以及精度等级要求,提供主动式或被动式防振平台

产品手册

Atometrics白光干涉仪.pdf

* Sq /√2–两次扫描的轮廓差,EPSI,单次扫描,无平均轮廓值,实验室条件,3x3降噪滤波器后的100万点