薄膜厚度测量仪 AF系列
测量仪
薄膜厚度测量仪 AF系列
超高精度/多层测量/场景丰富
高精度 膜厚 Mapping模式
偏差精准校正,实现超高分辨率;毫秒级别采样频率,比传统膜厚仪提升2~3倍更合适在线使用!支持Mapping模式,自动快速测量,单点时间<0.5s,兼容2-12寸晶圆片。