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薄膜厚度测量仪 AF系列
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薄膜厚度测量仪 AF系列
超高精度/多层测量/场景丰富
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Mapping模式
偏差精准校正,实现超高分辨率;毫秒级别采样频率,比传统膜厚仪提升2~3倍更合适在线使用!支持Mapping模式,自动快速测量,单点时间<0.5s,兼容2-12寸晶圆片。
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产品特性
01
超高精度
分辨率
0.1Å
02
多层测量
可测层数
10层
03
场景丰富
离线/在线/Mapping
多应用场景
应用示例
薄膜厚度测量
玻璃键合
量子点
制成薄膜
微流道
光刻胶
ITO膜厚
二氧化硅膜厚
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