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衍射三维形貌仪 NM系列
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    衍射三维形貌仪 NM系列
    光栅尺寸新一代测量解决方案
    膜厚 占空比 侧壁角 高效 精准
    通过光学正向建模算法得到的仿真光学参数，与实际测量的光学参数进行比对；利用LM算法、库匹配、神经网络算法， 提取出样品光栅的占空比、厚度与侧壁角等结构参数。
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