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白光干涉仪AM系列
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粗糙度/台阶/三维形貌/厚度测量
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白光干涉仪AM系列
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三维形貌
台阶高度
AM-7000可用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级别测量，以“面”的形式获取表面3D形貌通过专用软件对3D形貌进行处理和分析，最高RMS重复性可达0.002nm。 AM-7000搭配大量程高速纳米压电陶瓷器件,最高扫描速度400um/秒，3200Hz加以业内首创SST+GAT算法,可瞬间完成最高500万点云采集。 白光干涉原理通过光干涉相位计量任意放大倍率下均可获得<1nm的检测精度。
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产品特性
01
独特调制LED光源
中心场波长最低至
465nm
02
高感光高速度传感器
低至
0.02%
反射率的高透明产品可轻松采集信息和测量
03
超大角度特性
光滑面角度特性最高
53°
，局部剖面倾角可达
90
°
04
丰富的白光干涉镜头
搭配业内顶级白光干涉镜头，出厂前进行光路适配和校验特殊光路可搭配数值孔径NA达0.8的
115
倍镜头
应用示例
粗糙度
0.05nm 镜片粗糙度
齿轮拼接测量粗糙度
滚轴表面粗糙度
化妆品云母表面粗糙度
金属表面纹理测量
研磨纹路
平面度
超光滑平面度测量
三维形貌
晶圆表面蚀刻测量
硅片表面形貌结构
电容元器件表面
晶圆切割深度
镜片模具
柱面镜
手机玻璃盖板划伤
微透镜复眼
掩模板
PCB尺寸测量
台阶高度
台阶高度
芯片高度
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