白光干涉仪AM系列
粗糙度测量/台阶测量/三维形貌
白光干涉仪AM系列
白光干涉仪AM系列
粗糙度 三维形貌
AM-7000可用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级别测量,以“面”的形式获取表面3D形貌通过专用软件对3D形貌进行处理和分析,最高RMS重复性可达0.002nm。 AM-7000搭配大量程高速纳米压电陶瓷器件,最高扫描速度400um/秒,3200Hz加以业内首创SST+GAT算法,可瞬间完成最高500万点云采集。 白光干涉原理通过光干涉相位计量任意放大倍率下均可获得<1nm的检测精度。
WLI 3D Profiler
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