晶圆三维检测 WM系列
粗糙度测量/台阶测量/三维形貌
晶圆三维检测 WM系列
粗糙度、刻槽深度
粗糙度 台阶高度 三维尺寸
1、 编程简单、界面简洁、一键测量 2、 自动输出报告 3、 可进一步分析3D形貌 4、 SDK开放,可客制化工具