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3D线光谱共焦传感器 AS系列
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3D线光谱共焦传感器 AS系列
多层表面3D同时测量，精度可达0.05um
镜面反射
在线高精度3D测量
sdk可集成
通过白光分光成连续波长的光谱，每个波长聚焦在被测物体表面的特定位置，形成垂直焦平面，获取物体的三维形貌、纹理特征和光谱数据。
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产品特性
01
精度高、速度快
亚微米级分辨率，Z轴重复精度50nm
02
测量功能丰富易集成
丰富的3D测量功能，SDK接口简洁、兼容性高
03
测量不受材质和外界环境影响
可测量几乎所有材质，无需对待测物进行任何处理即可直接测量。内置测量和检测软件
04
一次性测量多层透明材料
基于光谱共焦技术，一次扫描实现多层形貌测量。
应用示例
半导体
陶瓷基板段差测量
半导体芯片检测
3C电子
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