柱面镜阵列
采用 50X 弥耳干涉物镜和垂直干涉扫描法(VSI)
微透镜复眼测量
采用 100X 弥耳干涉物镜和垂直干涉扫描法(VSI)
掩膜版测量
通过100X 弥耳干涉物镜和垂直扫描干涉法
PCB尺寸测量
电容元器件表面测量
晶圆表面粗糙度测量
采用10X弥耳干涉物镜和垂直干涉扫描法
金属表面纹理测量
表面划痕深度检测
齿轮拼接测量粗糙度
化妆品云母表面形貌粗糙度
采用 10X 弥耳干涉物镜和垂直扫描干涉法(VSI)
超光滑镜面拼接粗糙度测量
测量使用 20X 弥耳干涉物镜和垂直扫描干涉(VSI)
镜片模具测量
采用 20x 迈克尔逊干涉物镜和垂直扫面干涉法(VSI)
芯片高度测量
使用EX230, 20X测量镜头
芯片尺寸测量
使用EX230,20X测量镜头
微流道测量